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第六十章 明珠（第1页）

他们现在，并不比国际差什么，她记得资料显示，也就是几年后的71年，他们就用了被视为后世光刻机雏形的机器。

那个时候，国内最强大的光刻机制造商可以生产90nm芯片，已经可以满足国内基本的国防和工业需求。

78年，他们有了进一步的技术提升，曾经远赴海外展出。

第一台高端光刻机在国际工业展览会上闪亮登场，就引起了国际科学界的高度关注和极大兴趣。这是因为，高端光刻机的研发、制造难度实在太大，拥有这种技术和能力的国家寥寥无几。

国内在几乎与世隔绝的环境中居然独立自主地研发出世界一流的光刻机，令人难以置信。

他们从没有被落下太多！那台自动光刻机里，有很多独到的新发明、新技术，拥有完全的知识产权，足以笑傲群雄！

本来，以目前科技的体量，从零开始去手搓一部光刻机，还是个很大的挑战。有幸，能够站在先辈的努力基础上，在现有基础上进行精进，必然是比从零开始要便利太多。

原版的极紫外线光刻机，所需要的花费实在过于巨大，她看过记载，西方国家为其提供技术支持。为了“行业之冠的名字”

。相关数据显示，2019年，ASML花费了48亿欧元48亿欧元。2012年开发EUV光刻机时，阿斯麦因为成本太高差点放弃。

所以，第一步，姜竞株的步伐并没有迈的太大，她给自己定下的目标，是先拿下28nm的光刻技术进度，这个尺寸，已经可以满足目前雷达、制导等多方面的基本需求。

毕竟，技术要一步步有脉络能够循序渐进，要有足够可推广性。

太过的拔高，无异于空中楼阁，镜花水月，只是一时繁华。这不是姜竞株的希望，她所有的努力，都是发源于他们要的，是可以掌握的盛世安稳，是可以渐进的坚实基础。

芯片危机，日后不会再是国内的焦灼困扰。他们可以，随芯而行！

阿斯麦的成功，并不是本身有多高深，而是源于海对面对其的大力支持，很多零件都是各国的高端产品，例如光源设备和激光器海对面的轴承和精密CNC机器，汉斯国的机械技术和蔡司镜片等最先进的设备。

扬长避短，以国内目前的工业水平和发展道路来说，全力支持搞光刻机有些困难，更别谈芯片附带的各种上下游技术生存。

高纯度的硅晶圆，姜竞株在给众人普及材料合成的时候，已经做了制备，目前他们已经拥有了芯片最基础加工材料。

总不能什么都让竞株同志从零开始，作为先辈，林双芝觉得，她得先给竞株同志做点儿基础性工作。所以，就着眼前他们努力数年，才达成的技术成果，国内第一部接触式光刻机，她很有些感慨的开口。

“光刻机算是我的老本行，我抛砖引玉，先给大家浅谈一下光刻工艺的原理，光刻机刻制的电路是通过在导电材料上施加光刻胶，然后利用紫外线曝光和蚀刻的方式来形成导线和电子器件的图案。

大家可以想象一下胶片照片的冲洗，掩膜版就相当于胶片，而光刻机就是冲洗台，它把掩膜版上的芯片电路一个个的复制到光刻胶薄膜上，然后通过刻蚀技术把电路“画”

在晶圆上。

这些导电材料可以是金属或者半导体材料，它们在电路中起到导电的作用。所以，光刻机刻制的电路是能够导电的，这样能够大幅度减少各种复杂线路纠缠，

制作集成电路芯片，我们首先要有能把电路图的片状材料，现在国际主流，是以高纯度硅晶圆片作为芯片加工材料。

有了材料，我们就像木匠，需要找到称手的工具来雕刻图案，要制成内部结构复杂且极其微小的芯片，对加工工具的尺寸要求极高。光刻机就是用光作为这把刻刀，利用短波长的光来实现极其精细的加工。

我们希望通过光学曝光将图纸上设计好的电路图案转移到硅晶圆上，但是光不能对硅材料产生影响，所以需要借助一个中间材料，也就是能直接和光相互作用的光刻胶。

要让光实现图案的信息的传递，可以利用将光完全挡住或完全通过的方式产生明暗图案。光通过带有电路图案的挡光掩模版，可以复制掩模版的图案信息，最后和硅晶圆表面上均匀覆盖的光刻胶相互作用后，硅晶圆上出现了我们需要的图案信息。

光刻胶是光刻成像的主要承载介质，分为正胶和负胶，曝光区域更容易在显影液中溶解的为正性光刻胶，曝光区域更不易在显影液中溶解的是负性光刻胶。

假设使用的是正性光刻胶，当曝光过程结束后，显影液能够溶解暴露在光下的光刻胶。接着再用化学物质溶解裸露的硅晶圆，遗留在硅晶圆表面的光刻胶能起到保护硅晶圆的作用，这就是刻蚀过程。”

金属薄膜沉积在硅衬底上预先刻蚀出的沟槽中，从而代替了电路连线，而每一个节点则是硅基底上通过离子注入制作的晶体管。这是一个复杂的难以想象的系统工程，蚀刻，光刻设备的一点点的技术壁垒，他们在一直努力进行攻克与突破。

作为国内光刻机研发团队的领军人物和设计者之一，林双芝对这台光刻机的设计、制造中的每一个环节和每一个部件都了然于胸。

这是国际高精端技术，她归国以来，从最基础的理论开始，到一步步想办法实现技术，最终在多重努力以及大家的配合下，让国内有了光刻机技术，从而成为世界上少数拥有光刻机制造技术的国家。

她在光刻机研发上，深耕多年，最希望，能够看到更进一步的发展。目前的科研环境艰难，在来这里之前，她其实对于下一步的研发方向还没有太明确的进展，但是，如今，有个人如明珠一般，让她看到了未来熠熠生辉的闪亮希望！